微量水分析儀主要分為三種類型
　　1、電解法
　　五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個(gè)玻璃材質(zhì)的圓柱和兩根并行的電極組成，根據(jù)具體應(yīng)用來選擇電極材質(zhì)（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現(xiàn)的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過程的終產(chǎn)物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質(zhì)，因此從樣氣中吸收水分，通過連續(xù)的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應(yīng)該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經(jīng)過儀器內(nèi)部信號放大器處理，然后顯示并數(shù)據(jù)讀出。此原理用來測量所有氣體。包括Cl2、HCl、H2S、H2SO4、HBr、SO2、SF6、CO2等氣體和全部惰性氣體，數(shù)會同磷酸發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的氣體除外。P2O5探頭適用于測量各種惰性氣體、碳?xì)浠衔锘蚋鶕?jù)所選擇的探頭材質(zhì)應(yīng)用于HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與樣氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質(zhì)也可以提供。樣氣以特別的傳遞方式流經(jīng)探頭，再結(jié)合一個(gè)高質(zhì)量的界面。從而確保探頭響應(yīng)迅速和受干擾影響小，這些設(shè)計(jì)對于很低的ppm級測量十分重要。流經(jīng)探頭的樣氣流速通常設(shè)置在20Nl/h（100Nl/h可選）。與分析儀的電氣連接器為防水密封結(jié)構(gòu)。用戶可以十分容易的在五分鐘內(nèi)完成探頭的再生工作。探頭可以通過3個(gè)M4螺絲十分容易的安裝在任何地方。優(yōu)點(diǎn)：測試靈敏度高，適合非常微量的水/痕水測試，同時(shí)可以測量腐蝕性氣體。缺點(diǎn)：傳感器需要定期重涂。
　　
　　2、阻容法（電容法）
　　利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導(dǎo)致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是測量量程可更低，甚至達(dá)-100℃，另一突出優(yōu)點(diǎn)是響應(yīng)速度非?？欤瑥母傻綕耥憫?yīng)一分鐘可達(dá)90%，因而多用于現(xiàn)場和快速測量場合；缺點(diǎn)是精度較差，不確定度多為±2～3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩(wěn)定度大大提高，通過對傳感器響應(yīng)曲線的補(bǔ)償作到了飽和線性，解決了自動校準(zhǔn)問題。優(yōu)點(diǎn)：反映速度快。缺點(diǎn)：精度較差。
　　
　　3、冷鏡法
　　讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達(dá)到飽和結(jié)露狀態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時(shí)的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高，尤其在采用半導(dǎo)體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可達(dá)0.1℃；缺點(diǎn)是響應(yīng)速度較慢，尤其在露點(diǎn)-60℃以下，平衡時(shí)間甚至達(dá)幾個(gè)小時(shí)，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產(chǎn)生‘偽結(jié)露’造成測量誤差。優(yōu)點(diǎn)：精度高。缺點(diǎn)：響應(yīng)速度慢。
　　
微量水分析儀的技術(shù)指標(biāo)
　　﹡測量范圍：0～25%﹡精度：±2%FS﹡重復(fù)性：±1%FS﹡漂移：刻滿度的±2%/周（零點(diǎn),滿量程）﹡線性度：滿刻度的±1%（模擬量輸出）﹡輸出信號：0～10mA/DC、4～20mA/DC（負(fù)載電阻小于1KΩ）與輸出相對應(yīng)的測量范圍：0～5%，0～10%，0～25%（三檔）﹡響應(yīng)時(shí)間：標(biāo)準(zhǔn)氣體從入口輸出，達(dá)90%的響應(yīng)時(shí)間≤5秒﹡使用環(huán)境溫度：轉(zhuǎn)換器-5～50℃檢測器-10℃～80℃﹡采樣氣體溫度：0～700℃（低溫型）800～1400℃（高溫型）﹡采樣氣體壓力：-500～+500mmH2O﹡電源：220V±10%AC50HZ﹡檢測器（探頭）長度規(guī)格：0.2m、0.4m、0.6m、0.8m、1.0m、1.2m﹡轉(zhuǎn)換器盤面開孔尺寸：182±1（B）×254±1mm（H）
　　
微量水分析儀的特點(diǎn)
　　儀器采用電解式原理，對水份測量，勿需校準(zhǔn)操作。多參數(shù)數(shù)字顯示：露點(diǎn)，ppm等。測量池可拆卸，維護(hù)方便。遠(yuǎn)程安裝傳感器：可安裝在100m之外。